サブシステムまたは構成部品
構成要素、部品および付属品
真空システム構成要素および付属品(光学モニタースパッタリングターゲット取付、潤滑油、ポンプ油など) |
アステック |
アドバンテック |
アンペール |
イーグル工業 |
インフィコン |
エイエルユー |
NOKクリューバー |
エム・イー・エス・アフティ |
大阪真空機器製作所 |
黒田精工 |
斎藤マシン工業 |
ジーエスアイ・グループ・ジャパン |
ダイトエレクトロン |
タキゲン製造 |
千代田交易 |
東北大学/田邊匡生 |
東北三吉工業 |
日本アルカテル・ルーセント |
日本エム・ケー・エス |
日本電産コパル電子 |
日本バルカー工業 |
ビクトレックスジャパン |
フェローテック |
ブルックスインスツルメント |
プログレッシオLLC |
堀場エステック |
三菱重工業 |
リガク |
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